Systém k měření tenkých filmů je založen na měření interference bílého světla, čímž se určí optická tloušťka. Tento interferometrický vzorek bílého světla je matematickými funkcemi přepočítán na optickou tloušťku. Když jsou známy materiálové konstanty n a k, lze v jednovrstvých systémech vypočítat fyzickou tloušťku.
Software AvaSoft-ThinFilm má rozsáhlou vestavěnou databázi konstant n a k většiny obvykle používaných materiálů a vrstev. K měření vícevrstvých materiálů je k dispozici softwarový balík TFProbe.
Systém k měření tenkých vrstev AvaSpec dokáže měřit vrstvy od 10 nm do 50 μm s rozlišením 1 nm.
Měření tenkých filmů je často využíváno ve výrobě a zpracování waferů, kde je nutné monitorovat leptací nebo depoziční procesy. Dále se měření tenkých filmů aplikuje v oblastech, kde je potřeba měřit průhledné povlaky na kovových nebo skleněných substrátech.
Aplikační software AvaSoft-Thin umožňuje přímou kontrolu tloušťky filmů a díky exportu do formátu XLS do programů Excel a Process control umožňuje kombinaci s jinými aplikacemi AvaSoft.
K otestování vhodnosti přístroje je dostupný Thinfilm-standard s 2 kalibrovanými různě tlustými vrstvami SiO2 a referenční vrstvou.
Typická sestava k měření tenkých vrstev je ukázána níže.
