home /
home /

PRODUKTY:

Automatizovaný spektroskopický elipsometr SENDURO


Automatizovaná měřící stanice pro mapování spektroskopickou elipsometrií  


SENDURO je plně automatizovaná měřící stanice pro mapování spektroskopickou elipsometrii. Nevyžaduje uživatele k manuálnímu nastavení výšky a náklonu vzorku, čímž napomáhá k přesnému a opakovatelnému elipsometrickému měření. Patentované zařízení pro automatické nastavení vzorku výrazně redukuje provozní chyby, funguje na průhledných i odrazivých vzorcích a dokáže automaticky mapovat tenké vrstvy dokonce i na ohnutých waferech.

SENDURO exceluje v průmyslových aplikacích, které vyžadují vysokou prostupnost pro vzorky, snadné použití a automatické nastavení vzorku. Software SENDURO firmy SENTECH umožňuje měření tloušťky a indexu lomu jednoduchých vrstev i vrstevnatých systémů na průhledných i odrazivých substrátech. Celkový čas měření v jednom bodě netrvá více než několik vteřin i s využitím principu Step Scan Analyzer navrženého pro výbornou přesnost měření. SENTECH nabízí SENDURO se zakládací kazetou pro velikost vzorků až do průměru 300 mm (12" wafer).

SENDURO je dodáván s rozsáhlou knihovnou předdefinovaných měřících rutin pro opakované použití, které uživatel může snadno pozměnit podle svých potřeb. Software obsahuje i interaktivní mód s grafickým uživatelským rozhraním. Pro analýzu dat a zpracování komplexnějších úloh obsahuje integrovaný balík modelování, simulací a úprav dat.

Pro další informace navštivte web SENDURO nebo se obraťte přímo na nás.




další produkty této měřící techniky:
      • Spektroskopický elipsometr SENresearch 4.0
      • Spektroskopický elipsometr SENpro
      • Infračervený elipsometr SENDIRA
      • Laserový elipsometr SE 400adv
      • Kombinovaný elipsometr-reflektometr CER SE 500adv
      • Spektroskopické reflektometry RM
      • Stolní reflektometr FTPadv

  Kontakty:


Měřicí technika Morava s.r.o, Babická 619, 664 84 Zastávka u Brna, Česká republika

e-mail: info@mt-m.eu         tel: + 420 513 034 408               podrobné kontakty:         on line schůzka: