Use of AFM for high-resolution imaging and the nanochemical, nanomechanical and nanoelectrical characterization of advanced materials.
Learn how Atomic Force Microscopy can provide new insights into your life science research!
Práce kolektivu autorů z několika britských univerzit - PeakForce Tapping inside!
Kompletní řešení pro mikroskopii lokalizace jednotlivých molekul: kvantitativní zobrazování například i více škálami a módy
Další generace in-situ testovacích nanomechanických přístrojů Hysitron PicoIndenter pro SEM
Měřicí technika Morava s.r.o. |
Tel.: +420 513 034 408 |
IČ: 293 16 715 DIČ: CZ293 16 715 |
Dušan Novotný - jednatel
|
|
Plazmochemická depozice za nízkých teplot
Aparatura SI 500 D reprezentuje špičkovou technologii pro plazmochemickou depozici (PECVD - plasma enhanced chemical vapor deposition) dielektrických vrstev, a-Si, SiC a dalších materiálů. Je založena na unikátním ICP zdroji plazmatu PTSA (Planar Triple Spiral Antenna) firmy SENTECH, který generuje homogenní plazma s vysokou hustotou, malou energií a úzkým energiovým rozdělením iontů. Rovněž zajišťuje vysokou efektivitu přenosu energie a velmi dobré zapalování výboje.
Dynamická teplotní kontrola substrátové elektrody s podfukováním heliem zajišťuje dobře definované a stabilní podmínky od pokojové teploty až do +350 °C. Vakuová zakládačka (load lock) podporuje substráty a wafery do průměru až 200 mm. SI 500 D disponuje plně kontrolovaným vakuovým systémem a uživatelsky přívětivým grafickým ovládacím rozhraním. Flexibilita a modularita jsou základní charakteristiky designu SI 500 D.
Díky unikátnímu zdroji plazmatu a nízké teplotě depozice lze v SI 500 D připravit tenké s výbornými vlastnostmi – vysoké průrazné napětí, nízká leptací rychlost, nízké mechanické pnutí, velmi nízká hustota stavů rozhraní – a bez poškození substrátu. SI 500 D je zejména vhodný pro depozice ochranných, pasivačních a bariérových vrstev za nízkých a přesně definovaných teplot. Jsou dostupná řešení pro depozice z plynných i kapalných prekurzorů.
SENTECH nabízí různé stupně automatizace od jedné vakuové zakládačky po cluster s až šesti porty s různými leptacími a depozičními moduly. Také SI 500 D se nabízí jako modul pro leptací procesy do klastrových konfigurací.
Další informace můžete nalézt na stránkách výrobce SI 500 D, nebo se obraťte na nás.
Vítejte v naší zákaznické sekci. Čekají na Vás zde skvělé předměty, které si můžete jednoduše přidat do košíku za svoje získané kredity.
1 Kredit = 1 Kč
V případě, že kredity nemáte, nezoufejte. Obednejte si zboží, a vystavíme Vám standartní fakturu. Může být i kombinace kreditů a faktury.
Pro využívání zákaznické sekce se musíte poprvé zaregistrovat, poté stačí již jen přihlášení.
Měřicí technika Morava s.r.o, Babická 619, 664 84 Zastávka u Brna, Česká republika
e-mail: info@mt-m.eu tel: + 420 513 034 408 podrobné kontakty: on line schůzka: