Měřicí technika Morava, s.r.o. Babická 619 664 84 Zastávka u Brna |
tel.: +420 513 034 408 info@mt-m.eu IČ: 293 16 715, DIČ: CZ293 16 715 |
|
|
![]() ![]() |
Maloúhlový rozptyl - SAXS, GI-SAXS
• NANOSTAR
• N8 HORIZON
• MICRO Series
Plazmochemická depozice za nízkých teplot
Aparatura SI 500 D reprezentuje špičkovou technologii pro plazmochemickou depozici (PECVD - plasma enhanced chemical vapor deposition) dielektrických vrstev, a-Si, SiC a dalších materiálů. Je založena na unikátním ICP zdroji plazmatu PTSA (Planar Triple Spiral Antenna) firmy SENTECH, který generuje homogenní plazma s vysokou hustotou, malou energií a úzkým energiovým rozdělením iontů. Rovněž zajišťuje vysokou efektivitu přenosu energie a velmi dobré zapalování výboje.
Dynamická teplotní kontrola substrátové elektrody s podfukováním heliem zajišťuje dobře definované a stabilní podmínky od pokojové teploty až do +350 °C. Vakuová zakládačka (load lock) podporuje substráty a wafery do průměru až 200 mm. SI 500 D disponuje plně kontrolovaným vakuovým systémem a uživatelsky přívětivým grafickým ovládacím rozhraním. Flexibilita a modularita jsou základní charakteristiky designu SI 500 D.
Díky unikátnímu zdroji plazmatu a nízké teplotě depozice lze v SI 500 D připravit tenké s výbornými vlastnostmi – vysoké průrazné napětí, nízká leptací rychlost, nízké mechanické pnutí, velmi nízká hustota stavů rozhraní – a bez poškození substrátu. SI 500 D je zejména vhodný pro depozice ochranných, pasivačních a bariérových vrstev za nízkých a přesně definovaných teplot. Jsou dostupná řešení pro depozice z plynných i kapalných prekurzorů.
SENTECH nabízí různé stupně automatizace od jedné vakuové zakládačky po cluster s až šesti porty s různými leptacími a depozičními moduly. Také SI 500 D se nabízí jako modul pro leptací procesy do klastrových konfigurací.
Další informace můžete nalézt na stránkách výrobce SI 500 D, nebo se obraťte na nás.
Nanobrücken 2022
Mikroskopické techniky zažívají v posledních letech silný rozvoj a ani firmy Bruker nestojí stranou...
Každoroční konference Bruker o nanomechanickém testování a setkání uživatelů pokrývající všechny aspekty nanoindentace a nanotribologického testování s prezentacemi předních odborníků v oboru.
Podívejte se na aktuální přehled workshopů a akcí, které my nebo naši partneři pořádáme v tomto roce
Situace na Ukrajině nám není lhostejná. Naše firma dlouhodobě podporuje organizaci ADRA. Pomožte nám je ještě více podpořit.
Pro rok 2022 jsme připravili originální kalendář s rostlinami, které najdete na Moravě (i jinde). Pro pestrost jsme jej doplnili i o bylinky s překvapením, na které se můžete těšit.
Bruker uvádí na trh novou platformu IconIR kombinující systém Dimension Icon a fototermalní AFM-IR
Akční ceny na přístroje od firmy Moorfield nanoPVD-S10A, nanoPVD-T15A a nanoCVD-8G.
Reportáž o novém přístroji NanoWizard 4XP na Ceitec MU Brno.
Vítejte v naší zákaznické sekci. Čekají na Vás zde skvělé předměty, které si můžete jednoduše přidat do košíku za svoje získané kredity.
1 Kredit = 1 Kč
V případě, že kredity nemáte, nezoufejte. Obednejte si zboží, a vystavíme Vám fakturu. Může být i kombinace kreditů a faktury.
Pro využívání zákaznické sekce se musíte poprvé zaregistrovat, poté stačí již jen přihlášení. Po prvním přihlášení získáváte automaticky 200 kreditů pro použití v Zákaznické sekci.
Měřicí technika Morava s.r.o, Babická 619, 664 84 Zastávka u Brna, Česká republika
e-mail: info@mt-m.eu tel: + 420 513 034 408 podrobné kontakty: on line schůzka: