E-beam a tepelné napařování Bestec

Nabízíme dva e-beam a jeden tepelný napařovací systém firmy Bestec. Pro řešení šitá na míru vašim aplikacím se obraťte přímo na nás.

UHV - E-vap

•    komora umožňuje chlazení tekutým dusíkem nebo regulované ohřívání vzorku
•    load lock s integrovanou přípravou a oxidací vzorku
•    napařovaní tepelné nebo pomocí elektronového svazku

UHV depoziční systém

•    UHV aparatura s velkými dveřmi pro přípravu vzorků a napařovaného materiálu
•    lineární elektronový svazek pro více tavících lodiček  
•    4 wolframové lodičkové evaporátory
•    2 standardní evaporátory 
•    možnost planárního magnetronové zdroje
•    automatický vakuový systém, monitor tloušťky
•    mechanika pro manipulaci se vzorkem  

HV tepelný depoziční systém

•    depoziční komora s až čtyřmi tepelnými evaporátory
•    load lock integrovaný v glove boxu
•    manipulace se vzorky o průměru až 3"
•    čtyři držáky vzorků současně v depoziční komoře
•    variabilní vzdálenost od depozičního zdroje

Další informace můžete nalézt na stránkách Bestec e-beamtepelných depozic, nebo se obraťte na nás.

 




další produkty této měřící techniky:
      • MiniLab Moorfield
      • nanoPVD Moorfield
      • Naprašovací systémy BESTEC
      • Molekulární epitaxe BESTEC
      • Depozice pulzním laserem BESTEC
      • Molekulární epitaxe MiniMBE CreaTec
      • Evaporátory CreaTec
      • naprašovačky nanoEM Moorfield
      • Systém pro výzkum růstu vrstev CreaTec

  Kontakty:


Měřicí technika Morava s.r.o, Babická 619, 664 84 Zastávka u Brna, Česká republika

e-mail: info@mt-m.eu         tel: + 420 513 034 408               podrobné kontakty:         on line schůzka:

Napište nám: