Recent Developments and Applications - Exciting virtual workshop
EPR within reach - first session led by Dr. Ralph Weber
Práce kolektivu autorů z několika britských univerzit - PeakForce Tapping inside!
Kompletní řešení pro mikroskopii lokalizace jednotlivých molekul: kvantitativní zobrazování například i více škálami a módy
Další generace in-situ testovacích nanomechanických přístrojů Hysitron PicoIndenter pro SEM
|
Měřicí technika Morava s.r.o. |
Tel.: +420 513 034 408 |
IČ: 293 16 715 DIČ: CZ293 16 715 |
|
Dušan Novotný - jednatel
|
|
CCP plazmochemická depozice s iontovým bombardem 
Aparatura SI 500 PPD reprezentuje pokročilý nástroj pro plazmochemickou depozici (PECVD - plasma enhanced chemical vapor deposition) dielektrických vrstev, a-Si, SiC a dalších materiálů. Je založena na kapacitně vázaném výboji, zapáleném mezi dvěma horizontálními planparalelními elektrodami. Pro lepší kontrolu toku a energie iontů lze volitelně připojit i další RF zdroj s nižší frekvencí.
SI 500 PPD podporuje substráty a wafery do průměru až 200 mm. Vakuová zakládací komora garantuje stabilní podmínky procesu, jejich opakovatelnost a snadný přechod mezi různými procesy.
Plazmochemický reaktor SI 500 PPD je navržen pro plazmochemickou depozici tenkých vrstev SiO2, SiNx, SiONx a a-Si s kontrolovanou teplotou substrátu v teplotním rozsahu od pokojové teploty až do 350 °C. Jsou dostupná řešení pro depozice z plynných i kapalných prekurzorů. SI 500 PPD je zejména vhodný pro depozice dielektrických vrstev a amorfního křemíku pro leptací masky, membrány, pasivační vrstvy, vlnovody a další.
SENTECH nabízí různé stupně automatizace od jedné vakuové zakládačky po cluster s až šesti porty s různými leptacími a depozičními moduly. Také SI 500 PPD se nabízí jako modul pro leptací procesy do klastrových konfigurací.
Další informace můžete nalézt na stránkách výrobce SI 500 PPD, nebo se obraťte na nás.
Vítejte v naší zákaznické sekci. Čekají na Vás zde skvělé předměty, které si můžete jednoduše přidat do košíku za svoje získané kredity.
1 Kredit = 1 Kč
V případě, že kredity nemáte, nezoufejte. Obednejte si zboží, a vystavíme Vám fakturu. Může být i kombinace kreditů a faktury.
Pro využívání zákaznické sekce se musíte poprvé zaregistrovat, poté stačí již jen přihlášení.
Měřicí technika Morava s.r.o, Babická 619, 664 84 Zastávka u Brna, Česká republika
e-mail: info@mt-m.eu tel: + 420 513 034 408 podrobné kontakty: on line schůzka:
Jana Staňková - administrace, fakturace
Tabita Novotná - administrace, finance
Ladislav Pařízek 
Jan Walla - servisní technik
Martin Mackov 
Matúš Durec -
Boris Míč - obchodní zástupce
Jakub Horák - obchodní zástupce
Miroslav Michlíček - obsah webu
Michaela Ličková - administrace