Měřicí technika Morava, s.r.o. Babická 619 664 84 Zastávka u Brna |
tel.: +420 513 034 408 info@mt-m.eu IČ: 293 16 715, DIČ: CZ293 16 715 |
|
|
![]() ![]() |
Maloúhlový rozptyl - SAXS, GI-SAXS
• NANOSTAR
• N8 HORIZON
• MICRO Series
CCP plazmochemická depozice s iontovým bombardem
Aparatura SI 500 PPD reprezentuje pokročilý nástroj pro plazmochemickou depozici (PECVD - plasma enhanced chemical vapor deposition) dielektrických vrstev, a-Si, SiC a dalších materiálů. Je založena na kapacitně vázaném výboji, zapáleném mezi dvěma horizontálními planparalelními elektrodami. Pro lepší kontrolu toku a energie iontů lze volitelně připojit i další RF zdroj s nižší frekvencí.
SI 500 PPD podporuje substráty a wafery do průměru až 200 mm. Vakuová zakládací komora garantuje stabilní podmínky procesu, jejich opakovatelnost a snadný přechod mezi různými procesy.
Plazmochemický reaktor SI 500 PPD je navržen pro plazmochemickou depozici tenkých vrstev SiO2, SiNx, SiONx a a-Si s kontrolovanou teplotou substrátu v teplotním rozsahu od pokojové teploty až do 350 °C. Jsou dostupná řešení pro depozice z plynných i kapalných prekurzorů. SI 500 PPD je zejména vhodný pro depozice dielektrických vrstev a amorfního křemíku pro leptací masky, membrány, pasivační vrstvy, vlnovody a další.
SENTECH nabízí různé stupně automatizace od jedné vakuové zakládačky po cluster s až šesti porty s různými leptacími a depozičními moduly. Také SI 500 PPD se nabízí jako modul pro leptací procesy do klastrových konfigurací.
Další informace můžete nalézt na stránkách výrobce SI 500 PPD, nebo se obraťte na nás.
Mikroskopické techniky zažívají v posledních letech silný rozvoj a ani firmy Bruker nestojí stranou...
Každoroční konference Bruker o nanomechanickém testování a setkání uživatelů pokrývající všechny aspekty nanoindentace a nanotribologického testování s prezentacemi předních odborníků v oboru.
Podívejte se na aktuální přehled workshopů a akcí, které my nebo naši partneři pořádáme v tomto roce
Situace na Ukrajině nám není lhostejná. Naše firma dlouhodobě podporuje organizaci ADRA. Pomožte nám je ještě více podpořit.
Pro rok 2022 jsme připravili originální kalendář s rostlinami, které najdete na Moravě (i jinde). Pro pestrost jsme jej doplnili i o bylinky s překvapením, na které se můžete těšit.
Bruker uvádí na trh novou platformu IconIR kombinující systém Dimension Icon a fototermalní AFM-IR
Akční ceny na přístroje od firmy Moorfield nanoPVD-S10A, nanoPVD-T15A a nanoCVD-8G.
Reportáž o novém přístroji NanoWizard 4XP na Ceitec MU Brno.
Vítejte v naší zákaznické sekci. Čekají na Vás zde skvělé předměty, které si můžete jednoduše přidat do košíku za svoje získané kredity.
1 Kredit = 1 Kč
V případě, že kredity nemáte, nezoufejte. Obednejte si zboží, a vystavíme Vám fakturu. Může být i kombinace kreditů a faktury.
Pro využívání zákaznické sekce se musíte poprvé zaregistrovat, poté stačí již jen přihlášení. Po prvním přihlášení získáváte automaticky 200 kreditů pro použití v Zákaznické sekci.
Měřicí technika Morava s.r.o, Babická 619, 664 84 Zastávka u Brna, Česká republika
e-mail: info@mt-m.eu tel: + 420 513 034 408 podrobné kontakty: on line schůzka: