home / Příprava a charakterizace tenkých vrstev /
home / Elipsometry a reflektometry /

PRODUKTY:

Spektroskopický elipsometr SENresearch 4.0


Špičkový spektroskopický elipsometr pro vědu a výzkum

Rodina spektroskopických elipsometrů SENresearch je určena pro potřeby vědy a výzkumu.  Elipsometry SENresearch se vyznačují rychlostí, přesností a výborným poměrem signál/šum. Jednotlivé přístroje dodané firmou SENTECH jsou uzpůsobeny specificky pro potřeby zákazníka ze široké škály možností a příslušenství.

SENresearch může pokrývat široký spektrální rozsah od hlubokého UV do blízké infračervené oblasti (až 190 - 3 500 nm) a nabízí dostatečně vysoké spektrální rozlišení pro analýzu až 200 µm tlustých křemíkových vrstev při využití FTIR elipsometrie. SENresearch dosahuje vysoké přesnosti díky principu Step Scan Analyzer, který zajišťuje, že se v průběhu měření žádné optické části přístroje nepohybují. Rozšířením toho principu o design 2C je pak možné měřit kompletní Muellerovy matice. Nový motorizovaný pyramidový goniometr může pohybovat rameny elipsometru v rozmezí až 20 - 100° nezávisle na sobě, čehož se využívá v režimech měření rozptylu a úhlově rozlišené propustnosti. Optické rotační snímače zajištují nejvyšší přesnost a stabilitu úhlu. SENresearch nabízí také rychlý měřící mód pro mapování a in-situ aplikace.

SENresearch je dodáván s obsáhlým software pro spektroskopickou elipsometrii SpectraRay/4. Software obsahuje kromě měření podle rutinních receptů také interaktivní mód ovládaný grafickým rozhraním.

Pro další informace navštivte web SENresearch nebo se obraťte přímo na nás.




další produkty této měřící techniky:
      • Spektroskopický elipsometr SENpro
      • Infračervený elipsometr SENDIRA
      • Automatizovaný spektroskopický elipsometr SENDURO
      • Laserový elipsometr SE 400adv
      • Kombinovaný elipsometr-reflektometr CER SE 500adv
      • Spektroskopické reflektometry RM
      • Stolní reflektometr FTPadv

  Kontakty:


Měřicí technika Morava s.r.o, Babická 619, 664 84 Zastávka u Brna, Česká republika

e-mail: info@mt-m.eu         tel: + 420 513 034 408               podrobné kontakty:         on line schůzka:

Napište nám: