ContourGT-X

Automatická kalibrační metrologie pro výzkum, vývoj a výrobu

ContourGT-X je plně automatizované, samokalibrační řešení pro metrologii na výrobních linkách, jediné svého druhu na světe. Plně automatizovaný optický mikroskop kombinuje bezkonkurenční měřící vlastnosti a nejvyšší vertikální rozlišením s největším zorným polem v průmyslu, což umožňuje pohodlné měřené i velkých vzorků. Tato vlajková loď řady ContourGT byla navržena od základů pro největší výzvy ve výzkumu a vývoji, v zajištění kvality a kontrole výroby.

Jedině ContourGT-X zahrnuje patentovánu naklápěcí hlavu, samokalibrační laser, vestavěné rozpoznávaní vzorů a mnoho dalších interferometrických inovací. Žádný další metrologický systém neposkytuje takovou bezkontaktní přesnost, výkonnost a operační pohodlí pro tak široký rozsah metrologické produkce a zobrazovacích aplikací.

Kromě neporovnatelných měřících a zobrazovacích vlastností exkluzivní interferometrické technologie firmy Bruker je ContourGT-X vybaven interním laserovým nastavením a speciálně navrženou skříni pro maximální stabilitu a robustnost. Automatizována konfigurace systému zahrnuje všechno potřebné pro svižnou optimalizaci v téměř každém prostředí od vzduchového stolu pro zvýšení přesnosti umístnění waferu, po PDU, EMO a vakuových systému pro integraci modifikovaných vakuových svorek na automatické podávaní vzorek a kompatibilitu s dalším podávacím nástrojem výrobní linky.

Bruker ke všem 3D optickým mikroskopům nabízí modul Elite, který umožňuje snímání reálné barvy povrchu. Vylepšuje tak schopnosti přístroje zobrazit hrany i těch nejmenších struktur a další povrchové detaily, rovněž napomáhá uživateli rychleji najít zajímavé oblasti na vzorku.