nanoETCH Moorfield

nanoETCH – dedikované přístroje pro šetrné leptání 2D materiálů

Systémy nanoETCH firmy Moorfield poskytují přesnou kontrolu podmínek nutnou pro šetrné leptání (soft-etching) 2D materiálů a pro přípravu substrátů pro jejich exfoliaci. nanoETCH byl vyvinut ve spolupráci s grafénovou skupinou Univerzity Manchester, která za svůj objev nedávno získala Nobelovu cenu.

Jádrem přístrojů nanoETCH je precizní kontrola radio-frekvenčního výkonu a přívodu procesních plynů, která dovoluje provést leptací procesy nutné pro výzkum 2D materiálů, jako je grafén a dichalkogenidy přechodných kovů (transition metal dichalcogenides TMDCs), na nejvyšší světové úrovni. nanoETCH je snadno použitelné, stolní zařízení, které nabízí rychlé opracování substrátů a materiálů díky plně automatickému provozu a jednoduchému uživatelskému rozhraní s dotykovou obrazovkou.

  • soft-etching 2D materiálů
  • příprava substrátů pro mechanickou exfoliaci
  • precizní kontrola RF výkonu do 30 W
  • až 3 procesní plyny
  • plně automatický provoz ovládaný z dotykové obrazovky
  • stolek o průměru až do 6”
  • navržený pro snadný servis
  • řada bezpečnostních interlocků
  • kompatibilní s čistými prostory
  • výkon prokázaný řadou špičkových publikací

Mám zájem o přístroj

nanoETCH Moorfield

Kontaktujte našeho obchodníka

Felix Holáň

obchodní zástupce

Měření záření a světla, NMR, depozice, leptání

Kontaktujte našeho obchodníka

Jakub Orolín

obchodní zástupce

Příprava vzorků XRF, elipsometrie, depozice a leptání