MiniLab Moorfield

Flexibilní modulární systémy pro vysoce kvalitní PVD

PVD systémy MiniLab od firmy Moorfield poskytují skvělý výkon při přípravě povlaků a díky flexibilitě a modularitě mohou splnit i obrovský rozsah požadavků zákazníků. Řada přístrojů MiniLab sestává z několika různých platforem, které lze vybavit všemi běžnými PVD technikami: napařování, nízkoteplotní napařování, e-beam napařování a magnetronové naprašování. Obecně je každá platforma MiniLab spojena s vakuovou komorou určité velikosti. Kromě samotné depozice tenkých vrstev lze systémy minilab vybavit i komplementárními technikami jako jsou iontové zdroje, leptací komponenty a žíhací stolky. Systémy MiniLab se světě proslavili díky své spolehlivost, kompaktní velikosti a snadnosti použití.

Hlavní vlastnosti systémů:

MiniLab 125

  • PVD depozice kovů, dielektrik i organických materiálů
  • techniky napařování, nízkoteplotní napařování, e-beam napařování a magnetronové naprašování
  • velká komora s efektivním čerpáním pomocí turbomolekulární vývěvy
  • velké dveře komory otevírané dopředu, možnost posuvných dveří (do glove-boxů) nebo zakládací komory
  • umožňuje instalaci velkých zdrojů pro pilotní produkci (až 11″), nebo několika technik současně pro flexibilní výzkumný systém
  • bezpečnostní interlocky a kompatibilita s čistými prostory
  • navržený pro snadný servis a údržbu
  • automatická i manuální kontrola procesů
  • řada volitelných možností – čerpání, plyny, stolky, shuttery, QCM…

MiniLab 090

  • navržený pro integraci do gloveboxů – snadný přístup díky předním posuvným dveřím
  • dovoluje servisní přístup ze zadní strany
  • díky velké výšce je ideální pro větší pracovní vzdálenosti nutné pro vyšší uniformitu
  • jinak má podobné volitelné možnosti jako MiniLab 125

MiniLab 080

  • ideální pro napařovací procesy
  • díky velké výšce při větší pracovní vzdálenosti dosahuje lepší uniformitu procesů
  • jinak podobný jako MiniLab 090, ovšem bez přístupu ze zadní strany, podstava ve tvaru písmene D

MiniLab 060

  • menší výška komory ideální pro magnetronové naprašování
  • jinak podobný jako MiniLab 080

MiniLab 026

  • kompaktní systém s odklopnou horní částí komory, maximálně pro 6″ wafery
  • jediný systém, který lze nainstalovat do již existujících gloveboxů
  • bez možnosti zakládací komory, e-beam zdroje a některých možností stolku

Mám zájem o přístroj

MiniLab Moorfield

Kontaktujte našeho obchodníka

Dušan Novotný

obchodní zástupce

Příprava a charakterizace materiálů

Kontaktujte našeho obchodníka

Jakub Horák

obchodní zástupce

Připrava a charakterizace materiálů, mXRF, tXRF, bioAFM