Molekulární epitaxe MiniMBE CreaTec

Kompaktní MBE systém s homogenní depozicí

Mini MBE je speciálně navržen pro epitaxní růst vrstev na malých vzorcích (10 x 10 mm) v systému, který má současně extrémně kompaktní velikost.

Mini MBE sestává z MBE komory, zakládací komory a další volitelné buffer komory. MBE komora může pojmout až 11 efúzních cel (2 cm³), díky centrálnímu multifunkčnímu portu lze připojit i jiné zdroje (e-beam, plazma). Vybavení komory obsahuje transfer vzorků, manipulátor s rotací substrátu, lineární shuttery zdrojů a hlavní shutter. Substrát lze vyhřívat elektronovým svazkem až do 1400 °C. Optimalizované čerpání systému společně se zakládací komorou zajišťuje nízkou úroveň kontaminace.

CreaTec nabízí řadu možností pro monitorování substrátu a procesu růstu: od pyrometru a měření tlaku, přes hmotnostní spektromotrii, QCM a monitor toku svazkem (beam flux monitor) až po RHEED systém.

Samostatnou možností je pak kombinace Mini MBE s nízkoteplotním in-situ STM/AFM.

Toto řešení přináší vysoce kvalitní přípravu povrchu a rychlý a spolehlivý transfer do LT-SPM/AFM. Samotný STM/AFM mikroskop je state-of-the-art přístroj s vysokým rozlišením, možností měření za teploty pod 5 K a nízkou spotřebou tekutého dusíku a helia. Nabízí i možnost měření dlouhodobé nízkoteplotní spektroskopie a manipulace s atomy.

Samostatná stránka LT-SPM/AFM

Brožura Mini MBE s LT-STM/AFM