Elipsometry a reflektometry

Elipsometrie a reflektometrie představují rychlé a snadné metody pro vyhodnocení tloušťky a indexu lomu jednoduchých vrstev, multivrstev nebo i objemových materiálů. V kombinací s pokročilými optickými modely lze z precizních měření určit i další, obecně anizotropní, vlastnosti materiálů, drsnosti povrchu a jednotlivých rozhraní a gradienty optických konstant. Ve spolupráci se firmou SENTECH Vám nabízíme spektroskopické a laserové elipsometry, reflektometry a kombinace těchto přístrojů. Spektroskopické elipsometry jsou zastoupeny nejvyšší řadou výzkumných elipsometrů SENresearch 4.0, cenově efektivními elipsometry SENpro, infračerveným elipsometrem SENDIRA a automatizovanou elipsometrickou stanicí SENDURO. Kombinovaný elipsometr-reflektometr CER SE 500adv využívá výhod obou technik pro jednoznačné určení tloušťky periodických systémů vrstev. Pro rychlou analýzu tloušťky tenkých vrstev je vhodný laserový víceúhlový elipsometr SE 400adv, nebo reflektometry řady RM a TFPadv. Elipsometry a reflektometry SENTECH.