Dektak Pro

Osvědčená technologie, lepší výkon

dektak-pro-stylus-profiler-hero-bruker

V návaznosti na 55 let inovací v oblasti měření povrchu a technologického vedoucího postavení nastavuje Dektak Pro™ nový standard pro výkon dotekového profilometru. Systém jedinečně poskytuje data nejvyšší kvality s bezkonkurenčně snadným používáním.

Tento systém 11. generace Dektak® kombinuje:

  • Bezkonkurenční přesnost a opakovatelnost lepší než 4 Å
  • Zrychlená rychlost měření a analýzy
  • Sada exkluzivních funkcí Bruker pro všestrannost a snadné použití

Pouze Dektak Pro poskytuje nejnovější pokroky v profilometrii doteku a spolehlivost potřebnou k podpoře vašeho špičkového výzkumu a průmyslových aplikací i v budoucnu.

  • Jednička v oboru měření a analýzy zajístí vždy správné a přesné údaje.
  • Unikátní skenovací plocha s přímým pohonem zrychlí čas dosažení výsledků
  • Zjednodušený software a výměna hrotů poskytujte bezkonkurenční všestrannost a snadné použití.

Vlastnosti

Během posledních pěti desetiletí vedly systémy Bruker Dektak v oboru technologie profilometrie a dosáhly milníků zlepšení v rozlišení, stabilitě, rychlosti a všestrannosti. Nyní jsou systémy Dektak dobře zavedené jako zlatý standard profilometrie. Když je potřeba přesný a důvěryhodný kontaktní profilometr, Dektak je již dlouho nezpochybnitelným řešením.

Dektak Pro dělá další krok vpřed v inovaci profilometrie, poskytuje ještě lepší operativnost, spolehlivost a přesnost měření, aby zlepšil a rozšířil vlastnosti, díky nimž je Dektak synonymem profilometrie.

dektak-pro-ensuring-accuracy-bruker

Maximalizace opakovatelnosti a přesnosti

Dektak Pro poskytuje přesná data s nejvyšším rozlišením, nejnižší úrovní šumu a nejjednodušší výměnou hrotu jakéhokoli komerčně dostupného kontaktního profilometru. Nejmodernější technologie měření a analýzy maximalizuje opakovatelnost a přesnost, umožňuje měření výšky kroku po jednom nanometru a lepší opakovatelnost než 4 Å.

Zvýšení efektivity měření

Každý krok procesu měření a analýzy je urychlen pomocí Dektak Pro. Technologie skenovací fáze s přímým pohonem zkracuje dobu mezi skeny a 64bitové paralelní zpracování v softwaru Vision64® umožňuje rychlé zpracování dat.

Další technologická vylepšení rychlosti a snadného použití v Dektak Pro:

Nový algoritmus

  • zaostřuje téměř celé zorné pole v optickém živém obrazu, což usnadňuje lokalizaci zajímavých prvků.
  • výšky kroku automatizují rutiny analýzy, zlepšují konzistenci a minimalizují potenciální chyby uživatele ve výpočtech výšky kroku.
dektak-pro-prev-gen-comparison
dektak-pro-prev-gen-comparison-new
dektak-pro-microelectronics-bruker

Poskytuje maximální všestrannost a snadné použití

Vhodné pro velmi různorodé aplikace
Dektak Pro se zabývá výzkumem a vývojem, vývojem procesů a QA/QC současnými a budoucími potřebami v celé řadě průmyslových a výzkumných aplikací, jako jsou:

  • Mikroelektronika
  • Silné filmové povlaky
  • Biomateriály

Přesné a citlivé ve scénářích dynamického měření

U Dektak Pro pokryje jedna měřicí hlava výšky kroku 5 nm–1 mm a zátěže 0,03–15 mg (s volitelným příslušenstvím N-Lite+) bez rekalibrace. Senzor s nízkou setrvačností (LIS 3) se rychle přizpůsobuje náhlým změnám topografie povrchu a zachovává přesnost a odezvu v scénářích dynamického měření

page5plot-roboto2

dektak-pro-versatility-bruker

Rychlá a snadná výměna stylusu

Jedinečná sestava samonastavitelného doteku Dektak Pro usnadňuje rychlou a snadnou výměnu doteku a zároveň eliminuje jakékoli potenciální nehody během procesu. Bruker nabízí nejširší škálu velikostí doteků, aby vyhovovaly téměř všem požadavkům aplikace.

Výběr konfigurace, která nejlépe odpovídá vaší aplikaci a rozpočtu

Dektak Pro se dodává v několika standardních konfiguracích s různými velikostmi stolku – až 200 mm plného přístupu vzorku pro wafery – a automatickými možnostmi stolku, aby vyhovoval vašim jedinečným potřebám a rozpočtu.

Dektak Pro E nebo -S: Manuální 100 mm XY stolek s nebo bez ručního otáčení theta
Dektak Pro A: Automatizovaný 150 mm XY stolek s automatickým 360° theta
Dektak Pro A200: Automatizovaný kódovaný 200 mm XY stolek s jemně kódovaným automatickým 360° theta

dektak-pro-variant-options-bruker

Specifikace

Technika měření:Kontaktní profilometrie (kontaktní měření)Možnost nízké síly:N-Lite+ nízká síla 0.03 – 15 mg (volitelné)
Možnost měření:Dvourozměrné měření profilu povrchu;
Volitelné trojrozměrné měření/analýzy:
Možnosti stylusu:Stylus radius – 50 nm – 25 μm;
High Aspect Ratio (HAR) hroty 200 μm x 20 μm;
Vlastní tipy dostupné na vyžádání
Prohlížení vzorkuDigitální zvětšení, 0,275 až 2,2 mm vertikální FOVSample Stage X/Y:Manualní 100 mm (4 in.) X/Y, manualní leveling;
Motorizovaná 150 mm (6 in.) X/Y, manuální vyrovnání;
Motorizovaná s encoderem 200mm (8in.) X/Y
Stylus Sensor:Senzor s malou hybností (LIS 3)Rotační stolekManuální, kontinuální 360 stupňů;
Motorizované, kontinuální 360 stupňů
Síla stylusu:1 – 15 mg s LIS 3 sensorem;
0.03 – 15 mg rozsah s volitelným N-Lite+

Mám zájem o přístroj

Dektak Pro

Kontaktujte našeho obchodníka

Felix Holáň

Felix Holáň

obchodní zástupce

Měření záření a světla, NMR, depozice, leptání

Kontaktujte našeho obchodníka

Jakub Horák

Jakub Horák

obchodní zástupce

Připrava a charakterizace materiálů, mXRF, tXRF, bioAFM