Depozice, příprava a charakterizace tenkých vrstev
Zde naleznete techniky pro přípravu a charakterizaci tenkých vrstev. Depoziční techniky zahrnují fyzikální (PVD), chemické (CVD) i plazmochemické (PECVD) techniky. Plazmové leptání je zařazeno mezi PECVD techniky. Pro charakterizaci tenkých vrstev můžeme nabídnout elipsometry a reflektometry, optické a mechanické profilometry a případně maloúhlový rozptyl (GI)SAXS.