Spektroskopický elipsometr SENpro

Cenově efektivní spektroskopický elipsometr

SENpro je cenově efektivní spektroskopický elipsometr bez kompromisů k pokročilému měřícímu výkonu ve VIS-NIR oblasti. SENpro se vyznačuje přesností, rychlostí a jednoduchou obsluhou měření.

SENpro pro dosažení nejvyšší přesnosti využívá princip unikátní pro přístroje firmy SENTECH – Step Scan Analyzer, kdy polarizátor i kompenzátor jsou v průběhu měření zafixované. SENpro obsahuje goniometr nastavitelný v úhlech 40 – 90° s diskrétním krokem 5°, justování pomocí laseru, stabilizovaný světelný zdroj a detektor pro měřící rozsah 370 nm – 1050nm. SENpro je vhodný pro měření vrstev od extrémně tenkých ~ 1 nm až po 15 μm tlusté vrstvy.

Jednoduché ovládání zajišťuje sofistikovaný software SpectraRay/4, který nabízí i možnost modelování, simulace, fitování a prezentace dat. V kombinaci s volitelným motorizovaným stage pro vzorky až 200×200 mm lze provádět počítačem řízené mapování. SpectraRay/4 dovoluje současné vyhodnocení dat naměřených pod více úhly dopadu. Určuje tloušťku a index lomu jednoduchých vrstev i komplexních multivrstev snadno i pro začínajícího uživatele.