FIB-SEM | DB550


Rastrovací elektronový mikroskop s fokusovaným iontovým svazkem Ga+

Rastrovací elektronový mikroskop CIQTEK DB550 (FIB-SEM) s fokusovaným iontovým svazkem má kolonu s fokusovaným iontovým svazkem pro nanoanalýzu a přípravu vzorků. Využívá technologii elektronové optiky „super tunel“, nízkou aberaci a nemagnetický design objektivu a má funkci „nízké napětí, vysoké rozlišení“, která zajišťuje jeho analytické schopnosti v nanoměřítku.

Iontové kolony umožňují zdroj tekutých kovových iontů Ga+ s vysoce stabilními a kvalitními iontovými svazky, což zajišťuje možnosti nanofabrikace. DB550 je univerzální pracovní stanice pro nanoanalýzu a výrobu s integrovaným nanomanipulátorem, systémem vstřikování plynu a uživatelsky přívětivým softwarem s grafickým rozhraním.

Hlavní vlastnosti

Super Tunnel
  1. Technologie elektronové optiky „Super Tunnel“ / zpomalení paprsku ve sloupci
    Snižuje efekt prostorového nabíjení a zajišťuje rozlišení při nízkém napětí.
  2. Bez křížení v dráze elektronového paprsku
    Efektivně snižuje aberace čočky a zlepšuje rozlišení.
  3. Elektromagnetická a elektrostatická kompozitní objektiv
    Snižuje aberace, výrazně zlepšuje rozlišení při nízkém napětí a umožňuje pozorování magnetických vzorků.
  4. Vodou chlazený objektiv s konstantní teplotou
    Zajišťuje stabilitu, spolehlivost a opakovatelnost výkonu objektivu.
  5. Systém proměnné přepínání víceotvorové clony pomocí elektromagnetického vychýlení paprsku
    Automatické přepínání mezi clonami bez mechanického pohybu umožňuje rychlé přepínání mezi různými zobrazovacími režimy.

Technické vlastnosti CIQTEK DB550 FIB-SEM

FIBSEM – Kolona s fokusovaným iontovým svazkem

  • Kolona s fokusovaným iontovým svazkem (FIB)
    Rozlišení: 3 nm při 30 kV
  • Proud sondy: 1 pA až 65 nA
  • Rozsah akceleračního napětí: 0,5 kV až 30 kV
  • Interval výměny iontového zdroje: ≥1000 hodin
  • Stabilita: 72 hodin nepřetržitého provozu
Focused Ion Beam (FIB) Column

Nanomanipulátor

    • Tří- nebo čtyřosý piezoelektrický pohon
    • Velikost kroku ≤ 10 nm
    • Maximální pohyb 2 mm/s
    • Integrovaný řídicí systém UI
    • 4osý manipulátor s rotační funkcí

    Systém vstřikování plynu

    • Jednoduchý GIS design
    • K dispozici různé zdroje prekurzorů plynu
    • Vzdálenost zavádění jehly ≥35 mm
    • Opakovatelnost pohybu ≤10 μm
    • Opakovatelnost regulace teploty ohřevu ≤ 0,1 °C
    • Rozsah ohřevu: pokojová teplota až 90 °C (194 °F)
    • Integrovaný řídicí systém
    gas injection

    Mám zájem o přístroj

    FIB-SEM | DB550