High Speed SEM | HEM6000
Vysokorychlostní elektronový mikroskop s možností plné automatizace, který svou rychlostí konkuruje multisvazkovým mikroskopům.
HEM6000 je stroj vybavený nejmodernějšími technologiemi, aby poskytl maximální rozlišení při vysokých skenovacích rychlostech a nízkém napětí – rychlost je až 5 krát vyšší, než u běžných strojů. HEM6000 tak dokáže nabídnout skvělé rozlišení při rychlosti skenování, která konkuruje multisvazkovým strojům, a to navíc s neporovnatelnou stabilitou svazku oproti konkurenci – odchylka < 1%/24h.
To vše navíc podtrhuje možnost několika úrovní automatizace, HEM6000 najde využití i v kontrole kvality polovodičové výroby.
Unikátní vlastnosti
- Vysokorychlostní skenování – integrační čas 10 ns/pixel, maximální rychlost skenování obraze 200 mega pixel/s
- Velké zorné pole – Field of View
- Nízké zkreslení obrazu
Specifikace
| CIQTEK vysokorychlostní SEM mikroskop HEM6000 specifikace | HEM6000-Semi | HEM6000-Bio | HEM6000-Lite | |
| Elektronová optika | Rozlišení | 1,5 nm@1 kV SE | 1,8 nm@1 kV BSE | 1,5 nm@15 kV BSE |
| Urychlovací napětí | 0,1 kv~6 kV (režim zpomalování) | 6 kV~30 kV (režim bez zpomalení) | 6 kV~30 kV | |
| Zvětšení | 66~1 000 000x | |||
| Typ objektivu | Imerzní elektromagnetická a elektrostatická kombinovaná objektivová čočka | |||
| Elektrostatický deflektor | Pětistupňový | Čtyřstupňový | Čtyřstupňový | |
| Systém nakládání vzorků | Vakuový systém | Plně automatický bezolejový vakuový systém | ||
| Kamery | Monitorovací kamera v hlavní komoře Kamera sledující proces výměny vzorků v loadlocku | |||
| Maximální velikost vzorku | 10,16 cm v průměru | |||
| Stolek | Motorový, tříosý stupeň vzorku s volitelným krokem | |||
| Rozsah stolku | X, Y: 110 mm; Z: 16 mm | |||
| Přesnost nájezdu na pozici | X:±0,6 μm; Y:±0,3 μm | |||
| Výměna vzorků | Plně automatická | |||
| Doba výměny vzorků | <15 minut | |||
| Čištění komory loadlocku | Plně automatický systém čištění plazmou | |||
| Získávání a zpracování obrazu | Integrační čas | 10 ns/pixel | ||
| Rychlost skenování | 2*100 M pixel/s | |||
| Velikost obrázku | 16 K*16 K | |||
| Detektor a příslušenství | Detektor zpětně rozptýlených elektronů s nízkým úhlem, výsuvný (BSED) | Volitelné | Žádné | Standard |
| Detektor zpětně rozptýlených elektronů s nízkým úhlem, pevný (BSED) | Volitelné | Standard | Žádné | |
| Kombinovaný detektor vnitřní | Standard | Volitelné | Volitelné | |
| Vnitřní detektor zpětně rozptýlených elektronů pod vysokým úhlem | Volitelné | Volitelné | Volitelné | |
| Piezoelektricky řízený stolek | Volitelné | Volitelné | Volitelné | |
| Režim s vysokým rozlišením a velkým zorným polem (SW) | Volitelné | Žádné | Žádné | |
| Systém čištění plazmou v Loadlocku | Volitelné | Volitelné | Volitelné | |
| Systém pro zakládání 6 palcových vzorků | Volitelné | Volitelné | Volitelné | |
| Aktivní antivibrační platforma | Volitelné | Volitelné | Volitelné | |
| AI rukukce šumu; Skládání obrazu; 3D rekonstrukce | Volitelné | Volitelné | Volitelné | |
| Uživatelské rozhraní | Jazyk | Angličtina | ||
| OS | Windows | |||
| Navigace | Optická navigace, gestová navigace | |||
| Automatické funkce | Automatické rozpoznávání vzorků, automatický výběr zobrazovacích oblastí, automatická jas a kontrast, automatické ostření, automatický stigmator | |||
Mám zájem o přístroj
High Speed SEM | HEM6000