Molekulární epitaxe BESTEC

Depozice epitaxních vrstev od firmy BESTEC

Bestec nabízí dvě standardní konfigurace systémů pro epitaxní depozici molekulárním svazkem. Pro řešení šitá na míru Vašim aplikacím se obraťte přímo na nás.

Systém Mini-MBE Evap

• komora pro napařování kovů, zakládací komora
• manipulátor s vertikální a horizontální rotací
• měření tloušťky
• efúzní cely chlazené pomocí cryoshroud
• suchý čerpací systém

Systém Compact MBE

•  MBE komora
•  manipulátor s posuvem v x,y,z, a motorizovanou rotací
•  držák vzorků pro o průměru 0,5”
•  zásobník na vzorky v zakládací komoře pro 6 vzorků
•  až 6 K-cel nebo mini napařovacích zdrojů
•  odporový ohřev až do 800°C, chlazení tekutým dusíkem
•  suchý čerpací systém se studenou pastí a titanovou sorpční vývěvou