nanoPVD Moorfield

Kompaktní, stolní PVD systém pro napařování nebo naprašování

Moorfield uvádí na trh řadu přístrojů nanoPVD pro fyzikální depozici odvozených od designu vlajkové řady MiniLab, ale v kompaktním stolním provedení. Přístroje nanoPVD byly vyvinuty ve spolupráci se špičkovými akademickými skupinami a jsou optimalizované pro snadnost použití, skvělý poměr ceny a užitné hodnoty a efektivní využití prostoru v laboratoři. Díky tomu jsou ideálním řešením tam, kde jsou vedle nekompromisní kvality vrstev navíc vyžadovány nízké nároky na prostor a cenu. Modely nanoPVD pokrývají jak magnetronové naprašování (S10A a S10A-WA) tak i napařování (T15A), včetně nízkoteplotního.

Model nanoPVD-S10A – magnetronové naprašování s RF a/nebo DC zdroji

nanoPVD-S10A 

Podporuje až 3 magnetrony se standardní velikostí 2″, vybavené vodním chlazením pro dlouhodobý provoz za vysokého výkonu. Systém čerpá turbomolekulární vývěva, díky čemuž dosahuje velmi nízké kontaminace. Je jej možno provozovat v reaktivním módu s kontrolou až tří pracovních plynů. Rovněž lze používat více magnetronů současně pro ko-depozici z více terčů. Přístup do komory je přes horní víko, standardní držák umožňuje uchycení substrátů o průměru až 4″, v konfiguraci Wide-Area (WA) pak až 8″.

Klíčové vlastnosti:

• kompaktní, stolní konfigurace pro až 4″ substráty
• až 3 vodou chlazené standardní 2″ terče
• až 3 procesní plyny dodávané hmotnostními průtokoměry
• DC a/nebo RF zdroje
• plně automatický provoz ovládaný přes dotykovou obrazovku, ukládání uživatelských receptů
• základní tlak nižší než 5 × 10-7 mbar
• snadný servis a řada bezpečnostních prvků
• kompatibilní s čistými prostory a ověřený výkon

Další volitelné možnosti zahrnují suché čerpání, rychlé zavzdušňování komory, výhřev a rotaci substrátu, depozici na větší substráty o průměru až 8″ a další.

Model T15A – tepelné napařování pro kovy a organické sloučeniny

nanoPVD-T15A

Tyto systémy lze vybavit standardními odporovými zdroji pro napařování kovů i zdroji pro nízkoteplotní napařování (LTE) organických materiálů. Systém čerpá turbomolekulární vývěva, díky čemuž dosahuje velmi nízké kontaminace. Přístup do komory je přes horní víko, standardní držák umožňuje uchycení substrátů o průměru až 4″. Komora je relativně vysoká, což zlepšuje uniformitu napařených vrstev.

Klíčové vlastnosti:

  • zdroje pro LTE napařování organických materiálů (až 4) a kovů (až 2)
  • uniformní depozice díky vysokému aspect ratio
  • plně automatický provoz ovládaný přes dotykovou obrazovku, ukládání uživatelských receptů
  • základní tlak nižší než 5 × 10-7 mbar
  • snadný servis a řada bezpečnostních prvků
  • kompatibilní s čistými prostory a ověřený výkon

Další volitelné možnosti zahrnují suché čerpání, rychlé zavzdušňování komory, výhřev, posuv a rotaci substrátu, QCM a další.

Mám zájem o přístroj

nanoPVD Moorfield

Kontaktujte našeho obchodníka

Dušan Novotný

obchodní zástupce

Příprava a charakterizace materiálů

Kontaktujte našeho obchodníka

Jakub Horák

obchodní zástupce

Připrava a charakterizace materiálů, mXRF, tXRF, bioAFM