Laserový elipsometr SE 400adv

Víceúhlový laserový elipsometr SE 400adv

SE 400adv je kompaktní víceúhlový laserový elipsometr měřící pomocí HeNe laseru o vlnové délce 632,8 nm s garantovanou přesností pro jednoduché tenké vrstvy 0.1 Å. SE 400adv posouvá limity laserové spektroskopie a umožňuje měřit tloušťku filmu, ale i index lomu a extinkční koeficient. Vysoká rychlost měření dovoluje monitorovat růst vrstvy, detekci konečného bodu a mapování uniformity a homogenity vzorku.

Laserový elipsometr SE 400adv lze použít k charakterizaci jednoduchých filmů, vícevrstvých i objemných materiálů. Jeho mimořádně vysoká stabilita a přesnost je dána stabilním zdrojem laserového záření, stabilizací optických komponent, detektorem s velmi nízkým šumem a precizním goniometrem podporujícím měření pod více úhly (40° – 90° v krocích po 5°). Tomuto napomáhá také přesné umístění a najustování vzorku pomocí autokolimačního teleskopu a mikroskopu.