Spektroskopický elipsometr SENresearch 4.0

Špičkový spektroskopický elipsometr pro vědu a výzkum

Rodina spektroskopických elipsometrů SENresearch je určena pro potřeby vědy a výzkumu.  Elipsometry SENresearch se vyznačují rychlostí, přesností a výborným poměrem signál/šum. Jednotlivé přístroje dodané firmou SENTECH jsou uzpůsobeny specificky pro potřeby zákazníka ze široké škály možností a příslušenství.

SENresearch může pokrývat široký spektrální rozsah od hlubokého UV do blízké infračervené oblasti (až 190 – 3 500 nm) a nabízí dostatečně vysoké spektrální rozlišení pro analýzu až 200 µm tlustých křemíkových vrstev při využití FTIR elipsometrie. SENresearch dosahuje vysoké přesnosti díky principu Step Scan Analyzer, který zajišťuje, že se v průběhu měření žádné optické části přístroje nepohybují. Rozšířením toho principu o design 2C je pak možné měřit kompletní Muellerovy matice.

Nový motorizovaný pyramidový goniometr může pohybovat rameny elipsometru v rozmezí až 20 – 100° nezávisle na sobě, čehož se využívá v režimech měření rozptylu a úhlově rozlišené propustnosti. Optické rotační snímače zajištují nejvyšší přesnost a stabilitu úhlu. SENresearch nabízí také rychlý měřící mód pro mapování a in-situ aplikace.

SENresearch je dodáván s obsáhlým software pro spektroskopickou elipsometrii SpectraRay/4. Software obsahuje kromě měření podle rutinních receptů také interaktivní mód ovládaný grafickým rozhraním.

Mám zájem o přístroj

Spektroskopický elipsometr SENresearch 4.0

Kontaktujte našeho obchodníka

Jakub Orolín

obchodní zástupce

Příprava vzorků XRF, elipsometrie, depozice a leptání