Napařovací systémy BESTEC

E-beam a tepelné napařování Bestec

Nabízíme dva e-beam a jeden tepelný napařovací systém firmy Bestec. Pro řešení šitá na míru vašim aplikacím se obraťte přímo na nás.

UHV – E-vap

  • komora umožňuje chlazení tekutým dusíkem nebo regulované ohřívání vzorku
  • load lock s integrovanou přípravou a oxidací vzorku
  • napařovaní tepelné nebo pomocí elektronového svazku

UHV depoziční systém

  • UHV aparatura s velkými dveřmi pro přípravu vzorků a napařovaného materiálu
  • lineární elektronový svazek pro více tavících lodiček  
  • 4 wolframové lodičkové evaporátory
  • 2 standardní evaporátory 
  • možnost planárního magnetronové zdroje
  • automatický vakuový systém, monitor tloušťky
  • mechanika pro manipulaci se vzorkem

HV tepelný depoziční systém

  • depoziční komora s až čtyřmi tepelnými evaporátory
  • load lock integrovaný v glove boxu
  • manipulace se vzorky o průměru až 3″
  • čtyři držáky vzorků současně v depoziční komoře
  • variabilní vzdálenost od depozičního zdroje

Mám zájem o přístroj

Napařovací systémy BESTEC

Kontaktujte našeho obchodníka

Dušan Novotný

obchodní zástupce

Příprava a charakterizace materiálů

Kontaktujte našeho obchodníka

Jakub Horák

obchodní zástupce

Připrava a charakterizace materiálů, mXRF, tXRF, bioAFM